Los países equipos de medición técnica producida aparato oblea de inspección, para instrumentos de medición en una variedad de tama?os y materiales de obleas. 

 Los modelos de la línea de productos incluyen manuales, semiautomáticos y totalmente automático de tres modos. Capaz de medir, incluyendo Si, GaAs, InP, Ge, casi todo el material, un potente software ofrece para probar el espesor de la oblea de TTV, la proa, las urdimbres y planitud en unos pocos segundos, además de por un módulo de software adicional para calcular el oblea antes y después del proceso de tratamiento para producir estrés. Todos los cálculos están en línea con la norma ASTM (Asociación Americana de Pruebas y Materiales) y las normas Semi garantizar la compatibilidad con otros equipos del proceso y unificada. 

 Modelo 1: Proforma300 modo manual: 

 Características: Rápido, preciso, fiable máxima, medibles 300mm (12 ") de espesor de la oblea de la TTV, el arco, las mediciones se obtienen a través de sondas capacitivas sin contacto rodamiento Wafer está hecho de materiales especiales de cepillo Lun, puede ser realizado. conveniente sin desgaste posicionamiento de la oblea, el posicionamiento, el movimiento de la lámina a través de la calibración exacta del dedal. resultados de la prueba a través de monitor de alta resolución LCD conectados a un ordenador interfaz RS-232 se puede lograr un control completo del sistema y control puede ser de salida por la impresora. 

 Muy práctico conjunto de parámetros de proceso de la Proforma300 permite que el usuario precisa medición sin contacto, medir rápida y precisa, altamente repetitivo. 

 Sonda y la oblea entre el rango de detección se puede ajustar según sea necesario. 

 Modelo de dos: Proforma 200SA/300SA semi-automático de medición 

 Proforma exploración 200SA/300SA oblea entera rápido de toda la superficie de la oblea por cargar manualmente la etapa de auto-cojinete, presione el botón de arranque puede ser utilizado para mediciones automáticas se puede llevar a espesor, TTV, arco, urdimbre y planitud de medición. 

 La Proforma 200SA/300SA serie es el mejor en la oblea adelgazamiento proceso de desarrollo de la tecnología y las herramientas de supervisión de procesos, cómoda interfaz de Windows para realizar análisis de datos complejos y listas de datos, y el mapa en tres dimensiones. 

 Capaz en el proceso de medición como el corte, pulido, grabado, pulido y fabricación de planchas, como obleas, para proporcionar información sobre el proceso rápido y preciso. 

 La presentación de datos, la diversidad de formatos y capacidades completas de la red permite a los usuarios a comprender el proceso en cualquier etapa 

 Cada uno de los parámetros de medición y los parámetros del sistema pueden ser seleccionados a través de interfaz de software fácil de usar, los parámetros pueden ser modificados y vuelve a calcular según sea necesario, sin necesidad de volver a escanear la oblea. 

 Además de las capacidades de medición de gran alcance, los usuarios pueden optar por a?adir un software, el software puede ser utilizado para medir el estrés de la oblea. Ecuación de Stoney se puede calcular después de la deposición de la película o el proceso, introducido en el estrés de la oblea. 

 Análisis fuera de línea, los datos a distancia y configuración de la máquina, podemos ofrecer un paquete de herramientas de datos de gran alcance, que se basa en el sistema de ventanas a través de la red el número de observaciones